Fachbereich Physik

Arbeitsgruppe Prof. Oesterschulze

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Wissenschaftliche Ausstattung

Folgende apparative Ausstattung steht der Arbeitsgruppe im eigenen Labor und im Nano+Structuring-Center (NSC) einem Reinraum der TU KL zur Verfügung:

Lithographie:

Belichter "EVG 620"
Spin- und Sprühbe- lacker "EVG 101"
Elektkronen- strahlschreiber Raith, eLiNe
mit EDX

Subtraktive Techniken:

Ionenstrahlätzanlage (RIBE) "Roth & Rau, IonSys500"
Nassätzbänke

Additive Techniken:

PECVD Oxford PlamaLap 80
Parylene PVD- Aufdampfanlage
Charakterisierung / REM DSM 960 (Zeiss)

Analytik:

AFM Dimension 3100 (Veeco)

Sonstiges:

Drahtbonder "TPT, HB12"
Substratbonder "EVG 501"
Critical Point Dryer CPD 030
Sputter Machine Balzers Union CSD040
Bipotentiostat (Gramy)
HeterodynInterferometer
Wafersäge Disco DAD321
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