Die DVG lädt gemeinsam mit Karlsruher Institut für Technologie (KIT) zum Workshop

Einführung in die Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnologie

ein.

Die Veranstaltung findet vom Mittwoch 13.2. (12:00 Uhr) bis Donnerstag 14.2.2019 (14:00 Uhr) am Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) am KIT statt.

Ziel des DVG-Workshops ist es, eine kompakte Einführung in die Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnologie zugegeben. In anschaulicher Weise sollen die erforderlichen Grundlagen für diese drei eng miteinander verknüpften Anwendungsfelder gelegt und auch deren neueste Entwicklungen vorgestellt werden.

DVG-Workshop 12.-13.2.2019

In diesem Kurs wird eine kompakte Einführung in die Vakuum-, Plasma- und Beschichtungstechnologie gegeben. Es werden die erforderlichen Grundlagen in anschaulicher Weise gelegt und auch die neuesten Entwicklungen berücksichtigt. Hierzu gehört ein Überblick über die Vakuumtechnologie, von den verschiedenen Pumpentypen bis hin zur erforderlichen Vakuum-Messtechnik. Ein weiteres zentrales Element für die Prozesse der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) stellt das Plasma, insbesondere das Niederdruckplasma dar. Nach der Präsentation der grundlegenden plasmaphysikalischen Aspekte wird auch die gezielte Manipulation des Plasmas mit elektrischen und magnetischen Feldern behandelt und vertiefend auf das Magnetronzerstäuben und das Lichtbogenverdampfen eingegangen. Die Plasmadiagnostik stellt ein sehr mächtiges Instrument zur Prozesskontrolle und zur Aufskalierung dar und ist essentiell für das Verständnis von Plasma-Wand-Wechselwirkungen wie beispielsweise für die Zerstäubungsprozesse. Einen weiteren Schwerpunkt bilden Computersimulationen zum Schichtwachstum, mit deren Hilfe sich viele Prozesse modellieren und anschaulich darstellen lassen. Abschließend werden die Strukturzonen-Modelle näher betrachtet und erklärt.

Workshop-Themen

  1. Einführung in Vakuumtechnologie: Pumpen, Messtechnik
  2. Einführung in die Plasmaphysik
  3. Wechselwirkung elektrischer und magnetischer Felder mit Plasmen
  4. Magnetronzerstäuben und Lichtbogenverdampfen
  5. Plasmadiagnostik
  6. Zerstäubungstheorie
  7. Computersimulationen zum Schichtwachstum
  8. Strukturzonen-Modelle

 

Teilnahmegebühren

  • 900,- €
  • 700,- € für Mitglieder der DVG.
  • kostenlose Teilnahme für einen Mitarbeiter für Firmen mit Premium-Fördermitgliedschaft in der DVG

Die Teilnahmegebühr beinhaltet auch 2x Mittagsimbiss, 1x Abendessen, sowie Kaffee und Getränke während der Veranstaltung.

DIe Online-Anmeldungen ist mittels dem untenstehenden Link bis zum 31.01.2019 möglich.

Workshop-Leitung

apl. Prof. Dr. Sven Ulrich
Abteilungsleiter Stoffverbunde und Dünnschichten
Tel.: +49 72 608-23398
e-mail: sven.ulrich@kit edu

 

Veranstaltungsort

Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Institut für Institut für Angewandte Materialien –
Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Gebäude 681
Seminarraum 214
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
76344 Eggenstein-Leopoldshafen

Anfahrt

Online Registrierung:

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