Physik und Technologie der Nanostrukturen

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Arbeitsgruppe Prof. Dr. E. Oesterschulze

Wir entwerfen, realisieren und erforschen Nanostrukturen für verschiedene physikalische Anwendungen wie die Nanosensorik und Photonik. Dabei schlagen wir eine Brücke zwischen Prozessen aus verschiedenen Technologiebereichen: klassische Verfahren der Mikrosystem- technik wie Elektronenstrahl- oder Photolithographie (top-to-bottom) treffen auf selbst-organisierende bottom-to-top-Prozesse, um Strukturen im Nanometermaßstab zu erzeugen.